晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

可集成到末端執(zhí)行器內(nèi)，非常適合晶圓映射

為滿足您的晶圓映射需求，巴魯夫提供高精度光電傳感器，可完美集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì)，適合極薄的末端執(zhí)行器，傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*，因此，該傳感器可識(shí)別甚至只有幾微米厚度的晶圓，精度*。該傳感器能可靠識(shí)別整個(gè)卡槽，重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識(shí)別。

映射傳感器基于光電Micromote技術(shù)，它將一個(gè)極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元（放大器）組合到一起，兩者通過(guò)高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應(yīng)用于任何機(jī)械安裝方式，與其他Micromote傳感器一樣。

特點(diǎn)

• 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
• 多功能傳感器頭
• 使用BAE外部放大器，靈活性好，適用于各種應(yīng)用